JKSPE
모델 기반 이력특성 및 커플링 보상을 통한 압전형 고속 조준 거울의 정밀 제어 시스템 설계
초정밀 고대역폭 제어를 위한 압전형 FSM 제어 아키텍처 설계
윤준영/연세대학교
- 비선형 거동을 하는 압전형 고속 조준 거울(FSM)의 이력특성과 축 간 커플링이 제어 성능 저하에 미치는 영향을 분석하고, 이를 체계적으로 보상하기 위한 모델 기반 제어 아키텍처 를 설계하였다.
- 주파수 응답 영역에서 비선형성의 영향을 직접 관측·보상하여 입력 조건에 강건한 선형 응답 특성을 확보하고, 이를 기반으로 고주파 영역까지 포함한 디커플링 보상 모델을 설계하 였다.
- 이력특성 보상→선형성 확보→커플링 식별→디커플링 설계로 이어지는 순차적 구조를 통해, 각 단계의 보상 효과를 일관된 평가 체계 하에 정량적으로 검증하였다.
- 제안된 제어 아키텍처는 유사한 구동 구조를 갖는 다양한 다자유도 고정밀 시스템으로 확장이 가능하며, 넓은 주파수 범위에서의 정량적 해석과 실험적 검증을 제시하였다는 점에서 의의가 있다.
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