IJPEM
Control of Via Sidewall Morphology Through Sub-Pulse Interval Adjustment in Femtosecond Laser Processing
펨토초 레이저로 에칭 없는 TGV 가공 시대 연다
이승환, 박지용/한국생산기술연구원
- 펨토초 레이저 펄스 간격 제어만으로 TGV 측벽의 LIPSS를 효과적으로 억제하는 에칭프리 공정 전략 제시
- 국부적 열 축적을 이용해 용융층 점성과 반발 압력을 제어함으로써 단일 공정에서 균일하고 매끄러운 비아 측벽 구현
- 라만 분광 분석을 통해 유리 구조의 밀도화 메커니즘을 규명하고, 비아의 균열 저항성 및 기계적 신뢰성 향상 가능성 제시
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