JKSPE


멀티프로브 오차분리법을 이용한 정밀 라인프로파일 측정 기술
진직 구동의 오차 운동 보상 기술이 적용 된 정밀 라인프로파일 측정 기술


조남규/한양대학교


  • 라인프로파일 측정시스템에서 측정 불확도에 큰 영향을 미치는 진직 구동부의 오차운동을 측정시편(Specimen)의 라인프로파일 측정 데이터에 보상하여 고정밀 측정이 가능한 측정 기술을 개발

  • 라인프로파일 측정시스템에서 측정 불확도에 큰 영향을 미치는 진직 구동부의 오차운동을 측정시편(Specimen)의 라인프로파일 측정 데이터에 보상하여 고정밀 측정이 가능한 측정 기술을 개발

  • 진직 구동부의 오차운동 측정 기술로 멀티프로브-오차분리기술(Multi-Probe Error Separation, MPES technique)과 이를 이용한 오차 운동 보상 기술을 개발하여 적용

  • 멀티프로브 측정시스템은 3개의 측정 센서로 측정기준물(Reference)을 측정하도록 설계되며, MPES 기술은 측정 런-아웃 데이터에 합성되어 얻어지는 측정기준물의 형상 오차와 구동부의 2자유도 오차운동을 분리하는 기술
 
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